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T/SHXCL 0004-2021 无纺布/聚氨酯复合抛光垫 (免费下载)

本文件规定了无纺布/聚氨酯复合抛光垫(以下简称抛光垫)的分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于抛光垫,用,标准网,标准分享网,标准下载网,免费标准网,标准信息网,国家标准网

标准编号:T/SHXCL 0004-2021
标准名称:无纺布/聚氨酯复合抛光垫
英文名称:Nonwovens/polyurethane composite polishing pad
发布部门:上海市新材料协会
起草单位:上海映智研磨材料有限公司等
标准状态:现行
发布日期:2021-04-12
实施日期:2021-05-30
标准格式:PDF
内容简介
本文件规定了无纺布/聚氨酯复合抛光垫(以下简称抛光垫)的分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。
本文件适用于抛光垫,用于硅晶片、LCD基片及玻璃面板,蓝宝石衬底等材料的抛光,还可应用于ITO导电玻璃、玻璃基片、光掩模及LCD面罩、铍、熔融石英、磷化铟、铌酸锂、钽酸锂、不锈钢、钨、膨胀玻璃的抛光。

 

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