JJF1932-2021椭偏仪校准规范21页,【标准说明】本规范适用于波长范围在250 nm~2 000 nm内的椭偏仪的校准。【标准号】JJF 1932-2021【中文标准名称】椭偏仪校准规范【英文标准名称】Calibration Spe...
【标准说明】 | 本规范适用于波长范围在250 nm~2 000 nm内的椭偏仪的校准。 |
【标准号】 | JJF 1932-2021 |
【中文标准名称】 | 椭偏仪校准规范 |
【英文标准名称】 | Calibration Specification for Ellipsometers |
【发布日期】 | 2021/12/8 |
【实施日期】 | 2022/6/8 |
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